Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Mack, Chris A.
Formato:	Electrónico eBook
Lenguaje:	inglés
Publicado:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, [2007]
Materias:	Integrated circuits > Design and construction. Microlithography > Industrial applications. Electronic books.
Acceso en línea:	https://elibro.net/ereader/ipchile/179828
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