Compilation on Synthesis, Characterization and Properties of Silicon and Boron Carbonitride Films

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Hoffmann, P., Fainer, N., Kosinova, M., Baake, O., Ensinger, W.
Formato:	Capítulo de libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	IntechOpen 2011
Materias:	Physical Sciences, Engineering and Technology
Acceso en línea:	https://www.intechopen.com/chapters/21157
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