Nanoimprint Lithography - Next Generation Nanopatterning Methods for Nanophotonics Fabrication

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Viheriälä, Jukka, Niemi, Tapio, Kontio, Juha, Pessa, Markus
Formato:	Capítulo de libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	IntechOpen 2010
Materias:	Physical Sciences, Engineering and Technology
Acceso en línea:	https://www.intechopen.com/chapters/6535
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