Nanomembrane: A New MEMS/NEMS Building Block

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Matovic, Jovan, Jakšić, Zoran
Formato: Capítulo de libro
Lenguaje:inglés
Publicado: IntechOpen 2009
Materias:
Acceso en línea:https://www.intechopen.com/chapters/6624
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