Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Kaariainen, Tommi
Formato:	Electrónico eBook
Lenguaje:	inglés
Publicado:	Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, c2013.
Edición:	2nd ed.
Materias:	Chemical vapor deposition. Epitaxy. Microelectronics. Nanotechnology. Electronic books.
Acceso en línea:	https://elibro.net/ereader/ipchile/179453
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