Glancing angle deposition of thin films : engineering the nanoscale /

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Hawkeye, Matthew M. (Autor), Taschuk, Michael T. (Autor), Brett, Michael J. (Autor)
Formato:	Electrónico eBook
Lenguaje:	inglés
Publicado:	Chichester, England : Wiley, 2014.
Colección:	Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications.
Materias:	Nanotechnology. Chemical vapor deposition. Nanoelectromechanical systems > Design and construction. Electronic books.
Acceso en línea:	https://elibro.net/ereader/ipchile/190724
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