Lithography : main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos

Otros Autores:	Landis, Stefan
Formato:	Electrónico eBook
Lenguaje:	inglés
Publicado:	London : ISTE ; 2011. Hoboken, N.J. : Wiley, 2011.
Materias:	Microlithography. Electronic books.
Acceso en línea:	https://elibro.net/ereader/ipchile/187580
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