Producción de películas delgadas de TiO2 obtenidas por la técnica de arco catodico
Películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO2) fueron crecidas usando deposición física de vapor asistida por plasma (DFVAP) en un sistema de arco catódico a partir de un blanco de Ti. Para la producción de las películas, dentro de la cámara de reacción se ubicaron dos electrodos enfrentados (blanc...
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| Autores principales: | , , , , |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | español |
| Publicado: |
Universidad Tecnológica de Pereira
2014
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://dialnet.unirioja.es/servlet/oaiart?codigo=4693984 |
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