Producción de películas delgadas de TiO2 obtenidas por la técnica de arco catodico

Películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO2) fueron crecidas usando deposición física de vapor asistida por plasma (DFVAP) en un sistema de arco catódico a partir de un blanco de Ti. Para la producción de las películas, dentro de la cámara de reacción se ubicaron dos electrodos enfrentados (blanc...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Agudelo Morimitsu, Liliam C., Escobar Rincón, Daniel, De La Roche Yepes, Jhonattan, Restrepo Parra, Elisabeth, Arango, Pedro José
Format:	Article
Language:	Spanish
Published:	Universidad Tecnológica de Pereira 2014
Subjects:	DFVAP TiO2 Arco Catódico GIXRD SEM EDX µ-RAMAN
Online Access:	https://dialnet.unirioja.es/servlet/oaiart?codigo=4693984
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