Nano/Micro-Patterning of Semiconductors by Site Selective Chemical Etching Using Noble Metals as Catalyst

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Ono, Sachiko, Asoh, Hidetaka
Formato: Capítulo de libro
Lenguaje:inglés
Publicado: IntechOpen 2012
Materias:
Acceso en línea:https://www.intechopen.com/chapters/27206
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