Sputtered AlN Thin Films for Piezoelectric MEMS Devices - FBAR Resonators and Accelerometers

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Gerfers, Friedel, Kohlstadt, Peter M., Ginsburg, Eyal, He, Ming Yuan, Samara-Rubio, Dean, Manoli, Yiannos, Li-PengWang
Formato:	Capítulo de libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	IntechOpen 2010
Materias:	Physical Sciences, Engineering and Technology
Acceso en línea:	https://www.intechopen.com/chapters/6503
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