Manufacturing and Investigating Objective Lens for Ultrahigh Resolution Lithography Facilities

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Chkhalo, N.I., Pestov, A.E., N.N., Salashchenko, Toropov, M.N.
Formato:	Capítulo de libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	IntechOpen 2010
Materias:	Physical Sciences, Engineering and Technology
Acceso en línea:	https://www.intechopen.com/chapters/8663
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