Optimal Design and Fabrication of Fine Diffractive Optical Elements Using Proximity Correction with Electron-Beam Lithography

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Okano, Masato
Formato:	Capítulo de libro
Lenguaje:	inglés
Publicado:	IntechOpen 2010
Materias:	Physical Sciences, Engineering and Technology
Acceso en línea:	https://www.intechopen.com/chapters/8671
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

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