Characterization of Sol-Gel-Derived and Crystallized HfO2, ZrO2, ZrO2-Y2O3 Thin Films on Si(001) Wafers with High Dielectric Constant
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| Autores principales: | , |
|---|---|
| Formato: | Capítulo de libro |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
IntechOpen
2012
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://www.intechopen.com/chapters/36362 |
| Etiquetas: |
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